该产品是一种丝绒状的抛光布，表面多孔，呈弹性，用于去除其表面由前工序所残留下的微缺陷及表面的应力损伤层和去除表面的各种金属离子等杂质污染，以求获得具有一定的厚度和晶面，表面平整，光洁如镜，没有损伤层的单晶薄片，供外延和管芯制造时使用。
适用于半导体晶圆边缘的抛光。
上一篇：无
下一篇：无
首页
产品
电话
